На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МЕТАЛЛОПЛЕНОЧНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 1398573 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G01L001/22 | Аналоги изобретения: | Патент ФРГ N 2534433, кл. G 01L 1/22, 1977. |
Имя заявителя: | | Изобретатели: | Зеленцов Ю.А. Мокров Е.А. Наумов А.С. Песков Е |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике и служит для повышения стабильности значений выходного напряжения чувствительного элемента. На упругие подложки из коррозионностойкой стали наносят слой SiO с адгезионным подслоем из хрома и пленку резистивного материала (ПР) до достижения величины поверхностного сопротивления ПР 50 - 55 Ом/о. ПР выдерживают в вакууме при температуре напыления 350oС в течение 4,5 - 5 ч. Затем на ПР через трафарет наносят слой проводящего материала на основе золота с адгезионным подслоем из хрома и создают контактные площадки тензорезисторов и рисунок коммутации. После этого формируют рисунок тензорезисторов и выдерживают чувствительный элемент в кислородной плазме с расходом кислорода 2 - 3 см3 мин в вакууме 0,7 - 0,9 мм рт. ст. в течение 1,5 - 2 ч. 2 табл.
|