US 3860310 A, 14.01.1975. RU 2199789 C2, 27.02.2003. RU 2194328 C1, 10.12.2002. RU 2056662 C1, 20.03.1996. JP 2000251616 A, 14.09.2000. WO 2008069243 A1, 12.06.2008.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф Стельмаха" (ФГУП "НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха") (RU)
Изобретатели:
Фарштендикер Виктор Львович (RU) Пролейко Эсфирь Павловна (RU) Пузанов Александр Гаврилович (RU) Хворостов Валентин Иванович (RU) Минаева Ольга Николаевна (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф Стельмаха" (ФГУП "НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха") (RU)
Реферат
Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано при производстве газоразрядных приборов, в частности холодных катодов моноблочных газовых лазеров. Способ изготовления полого холодного катода газового лазера, включающий изготовление заготовки, напыление на ее внутреннюю поверхность эмитирующей пленки и окисление ее в кислороде, в котором заготовку катода и эмитирующую пленку выполняют из алюминия, проводят термообработку катода при давлении не выше 0,00133 Па при температуре 573593 К в течение 3040 мин с последующим ступенчатым окислением эмитирующей пленки при нормальной температуре разрядом в кислороде при плотностях тока 0,150,9 мА/см и давлении кислорода 40 Па80 Па в течение 4555 мин, затем при плотности тока 0,150,3 мА/см2 и давлении кислорода 150200 Па в течение 2535 мин. Технический результат - упрощение технологии за счет исключения термического окисления, уменьшения затрачиваемого технологического времени и необходимости использования высокотоксичного бериллия. 1 табл.