На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДВУХУРОВНЕВЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КОММУТАЦИОННЫХ ПЛАТ | |
Номер публикации патента: 1358777 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H05K003/46 | Аналоги изобретения: | 1.Приборы и системы управления, N 1, 1981, с.40. 2. Приборы и системы управления, N 9, 1984, с.35. |
Имя заявителя: | Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" Всесоюзного производственного объединения "Союзтехноприбор" | Изобретатели: | Пересветов Н.Н. Плеханов А.А. Киселев В.А. Гусев В.Н. Рябинкина Л.М. Прокофьев |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектроники. Цель изобретения - повышение процента выхода годных. На подложку из стали наносят структуру V-Cu-V-Al, а затем методом селективной фотолитографии формируют проводники 1-го слоя с использованием позитивного фоторезиста. С помощью негативного фоторезиста формируют защитную маску с окнами для переходных контактных столбиков. Переходные окна к проводящей пленке 1-го слоя выполняют травлением слоев Аl и V. Через полученные окна проводят обслуживание медных контактных площадок. Далее наносят диэлектрическую пленку моноокиси кремния и вновь облуживают подложку. В результате расплавления столбиков из припоя происходит разрыв диэлектрика над столбиками и их наращивание. Второй уровень металлизации получают напылением структуры V-Cu-V-Al и формируют рисунок проводников второго уровня. Способ позволяет повысить выход годных до 60%.
|