На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОУРОВНЕВОЙ КОММУТАЦИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ | ![](Images/non.gif) |
Номер публикации патента: 2017353 | ![](Images/empty.gif) |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H05K003/46 | Аналоги изобретения: | Патент США N 4508749, кл. B 44C 1/22, 1985. |
Имя заявителя: | Акционерное общество "Техномап" | Изобретатели: | Трейгер Л.М. Шурчков И.О. | Патентообладатели: | Акционерное общество "Техномап" |
Реферат | ![](Images/empty.gif) |
Использование: создание многоуровневой коммутации интегральных микросхем в микроэлектронике. Сущность изобретения: на интегральную микросхему с проводниками первого уровня коммутации наносят полиимидную пленку для межслойной изоляции, загружают ее в реакционную камеру и облучают с лицевой стороны лазерным излучением УФ-диапазона с длиной волны 240 - 400 нм в присутствии газообразного соединения аминного комплекса гидрида алюминия (преимущественно триметиламиналюминийгидрида).
|