|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ФАЗОВОГО СДВИГА ПРОЗРАЧНОГО ОПТИЧЕСКИ АНИЗОТРОПНОГО ОБРАЗЦА |  |
Номер публикации патента: 2184365 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N021/21 | | Аналоги изобретения: | Rochford Kent B. et al., Accurate interferometric retardance measurement. Applied Optics, 1997, v.36, № 5, p.6473-6 478. АЗЗАМ Р. и др. Эллипсометрия и поляризованный свет. - М.: Мир, 1981, с.303. SU 1749784 A1, 23.07.1992. WO 97/33158 A1, 12.09.1997. DE 4000058 A1, 13.09.1990. |
| Имя заявителя: | Лысенко Галина Артуровна | | Изобретатели: | Лысенко Г.А.
Качурин Ю.Ю. | | Патентообладатели: | Лысенко Галина Артуровна
Качурин Юрий Юрьевич |
Реферат | |
Изобретение относится к оптике и контрольно-измерительной технике и может быть использовано для исследования свойств анизотропных материалов. Сущность изобретения: исследуемый образец облучают потоком поляризованного излучения в одном из плеч интерферометра. Прошедший через образец поток складывают с опорным потоком поляризованного излучения из другого плеча интерферометра. Полученный интерференционный сигнал разделяют и регистрируют два интерференционных сигнала, образованных ортогональными линейно поляризованными составляющими складываемых потоков. Исследуемый образец вращают на угол не менее 180o вокруг оси падающего излучения и измеряют разности фаз &Dgr;Ф1 и &Dgr;Ф2 между регистрируемыми интерференционными сигналами при таких положениях образца, когда отношение амплитуд интерференционных сигналов принимает то же значение, что и в отсутствии образца в плечах интерферометра. Искомый фазовый сдвиг образца вычисляют по формуле δ = (&Dgr;Ф2-&Dgr;Ф1)/2. Техническим результатом является повышение точности благодаря тому, что ориентация осей анизотропии образца осуществляется автоматически в процессе измерения, и исключается влияние на результат измерения фазовых сдвигов, вносимых светоделителем. Дополнительное повышение точности измерения достигается, если в отсутствии исследуемого образца в плечах интерферометра уравнивают амплитуды регистрируемых интерференционных сигналов. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента