На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЗАЗОРА МЕЖДУ ЭЛЕКТРОДАМИ И ПОДВИЖНОЙ МАССОЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ | ![](Images/non.gif) |
Номер публикации патента: 2338997 | ![](Images/empty.gif) |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01B007/14 | Аналоги изобретения: | RU 2244271 C1, 10.01.2005. SU 932208 A, 30.05.1982. SU 922498 A, 23.04.1982. EP 1278068 A2, 20.03.2003. DE 10018226 A1, 25.10.2001. |
Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" (RU) | Изобретатели: | Некрасов Яков Анатольевич (RU) Беляев Яков Валерьевич (RU) | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" (RU) |
Реферат | ![](Images/empty.gif) |
Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления. Способ предназначен для микромеханических устройств, содержащих подвижную массу (ПМ), электростатический задатчик силы и датчик перемещения подвижного элемента. Сущность: изменяют напряжение, по крайней мере, на одном из электродов.
|