RU 2282902 С2, 27.08.2006. RU 2248600 C1, 20.03.2005. US 2004/083799 A1, 06.05.2004. US 6051825 A, 18.04.2000.
Имя заявителя:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Изобретатели:
Быков Виктор Александрович (RU) Быков Андрей Викторович (RU) Котов Владимир Валерьевич (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к зондовой микроскопии, а именно к устройствам, обеспечивающим комплексные исследования сложных объектов при контроле и создании требуемой среды измерения. В сканирующий зондовый микроскоп с контролируемой средой измерения введены модульный блок откачки, сопряженный с платформой, герметичный кожух с, по меньшей мере, одним оптически прозрачным окном, имеющим возможность вакуумно-плотной установки на платформу и герметизации измерительного модуля, а также блок визуализации, установленный на платформе с возможностью подвижки и оптически сопряженный, по меньшей мере, посредством одного оптически-прозрачного окна с зондом. Платформа имеет замкнутую вакуумно-плотную полость, в которой расположены подвижный элемент с держателем образца. Захват зонда снабжен пьезомодулем, а на платформе установлен ориентатор, сопряженный с герметичным кожухом. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства. 8 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента