МОКРОВ Е.А. и др. Акселерометры НИИ физических измерений - элементы микросистемотехники. Микросистемная техника. - 2002, 1, с.3-9. RU 2246734 C1, 20.02.2005. RU 2231795 C1, 27.06.2004. RU 2284528 C1, 27.09.2006. RU 2265856 C1, 10.12.2005. US 4926689 A, 22.05.1990.
Имя заявителя:
Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU), Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория ИТМЭ" (RU)
Изобретатели:
Тимошенков Сергей Петрович (RU) Миронов Сергей Геннадьевич (RU) Калугин Виктор Владимирович (RU) Шилов Валерий Федорович (RU)
Патентообладатели:
Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория ИТМЭ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при создании микромеханических акселерометров и гироскопов. Датчик содержит чувствительный элемент (ЧЭ) маятникового типа, прикрепленный с помощью упругих подвесов к рамке ЧЭ. Рамка с помощью упоров крепится к основанию прибора, в рамке выполнены сквозные щели, по ее периметру. Это позволяет увеличить расстояние от мест крепления упоров до упругого подвеса и снизить влияние контактных напряжений на упругий подвес, что уменьшает нестабильность нуля и повышает точность прибора. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента