US 6230563 B1, 15.05.2001. US 6250150 B1, 26.06.2001. US 5895850 A, 20.04.1999. РАСПОПОВ В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие. - Тула: Тул. Гос. Университет, 2002, с.3, 2. ЛЕСТЕВ A.M. и др. Разработка и исследование микромеханического гироскопа. Гироскопия и навигация, 2(25), 1999, с.3-10.
Изобретение относится к инерциальным датчикам, в частности к микромеханическим вибрационным гироскопам, имеющим два или более копланарных подвижных груза, подвешенных над плоской подложкой. Две перпендикулярные оси (х и у) заданы в плоскости подложки, а третья ось z, или входная ось, задана перпендикулярно плоскости подложки. Перемещения двух грузов вдоль оси х связаны посредством электростатического взаимодействия, так что частоты собственного резонанса синфазного колебания и противофазного колебания не совпадают друг с другом для резонансов вдоль оси х. Когда два груза приведены в вибрационное движение вдоль оси х в противофазе и устройство вращается вокруг оси z, силы Кориолиса действуют по-разному на грузы в Y-направлении, вызывая колебание этих двух грузов в противофазной волне вдоль оси у, которое может быть обнаружено непосредственно с помощью датчика скорости для измерения скорости вращения вокруг оси z. Изобретение позволяет исключить механическое сцепление между вибрирующими грузами. 2 н. и 18 з.п. ф-лы, 6 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента