US 6250156 B1, 26.06.2001. WO 2004/099716 A1, 18.11.2004. WO 2004/038331 A1, 06.05.2004. DE 102004056699 A1, 01.06.2006. RU 2274833 C1, 20.04.2006. RU 2209394 C2, 27.07.2003.
Имя заявителя:
НОРСРОП ГРУМАН ЛИТЕФ ГМБХ (DE)
Изобретатели:
ШПАХЛИНГЕР Гюнтер (DE)
Патентообладатели:
НОРСРОП ГРУМАН ЛИТЕФ ГМБХ (DE)
Приоритетные данные:
15.09.2006 DE 102006043412.9
Реферат
Изобретение относится к микроэлектромеханическим датчикам, используемым в качестве кориолисовых гироскопов. Датчик (30) содержит по меньшей мере один подвижный электрод (29), электродную систему (311-314), отстоящую на некотором расстоянии от электрода (29) и содержащую электроды, выполненные с возможностью раздельного управления и подачи на них соответствующих электродных сигналов (uo1, uo2, uu1 uu2), которые могут быть использованы для установления и/или изменения электростатическим способом прикладываемой силы, жесткости и коэффициента усиления при считывании выходного сигнала подвижного электрода (29). Блок (32) выработки электродных сигналов, соединенный с электродной системой (311-314), вырабатывает электродные сигналы (uo1, uo2, uu1, uu2) в зависимости от сигнала (f) прикладываемой силы, сигнала () жесткости и сигнала (m) коэффициента усиления при считывании выходного сигнала и согласовывает электродные сигналы между собой таким образом, чтобы прикладываемая сила, жесткость и коэффициент усиления при считывании выходного сигнала подвижного электрода (29) могли быть установлены и/или изменены до конкретных требуемых значений независимо друг от друга. Изобретение позволяет расширить функциональные возможности датчика. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента