Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения" (RU)
Изобретатели:
Григорьев Алексей Вячеславович (RU) Калаурный Ярослав Николаевич (RU) Скалон Анатолий Иванович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения" (RU)
Реферат
Изобретение относится к инерциальным приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения. Микроакселерометр содержит корпус, крышку, две инерционные массы на упругих подвесах, выполненные в виде прямоугольных пластин из монокристаллического кремния и расположенные в одной плоскости последовательно друг за другом вдоль оси чувствительности с возможностью линейного перемещения. Два датчика положения для каждой инерционной массы выполнены в виде двух пар излучателей и фотоприемников. Первые из них расположены в отверстиях крышки над прямоугольными пластинами, а вторые соосно с ними размещены в корпусе. При этом каждая пара фотоприемников соединяется с соответствующим ей компаратором. Выходы компараторов соединены с ключами, к которым также подсоединен стабилизированный источник тока. Выходы ключей через упругие подвесы соединены с токопроводящими дорожками компенсационных преобразователей, выполненных в виде двух постоянных магнитов, размещенных на крышке и корпусе, и токопроводящих дорожек, напыленных на поверхности прямоугольных пластин, перпендикулярно оси чувствительности. Изобретение позволяет повысить точность измерения за счет введения режима автоколебаний. 1 ил.