На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ЗАГРЯЗНЕНИЙ С ОБРАБАТЫВАЕМОЙ ИЗЛУЧЕНИЕМ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2136467 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | B23K026/00 B08B007/00 | Аналоги изобретения: | US 5024968 A, 18.05.91. JP 60-129136 A, 10.07.85. US 4814578 A, 21.05.89. SU 1798090 A1, 28.02.93. |
Имя заявителя: | Колдрон Лимитед Партнершип (US) | Изобретатели: | Энгельсберг Одрей С. (US) | Патентообладатели: | Колдрон Лимитед Партнершип (US) | Номер конвенционной заявки: | 08/045,165 | Страна приоритета: | US |
Реферат | |
Способ включает в себя стадии: введения ламинарного потока газа по упомянутой обрабатываемой поверхности, причем упомянутый газ является инертным в отношении обрабатываемой поверхности, и облучения упомянутой обрабатываемой поверхности излучением высоких энергий, причем упомянутое излучение обладает плотностью энергии и длительностью воздействия, достаточными для удаления поверхностных загрязнений с обрабатываемой поверхности и недостаточными для изменения кристаллической структуры обрабатываемой поверхности. Упомянутый газовый поток поддерживают по обрабатываемой поверхности подложки в ламинарном режиме без образования зон обратного потока. Изобретение также раскрывает устройство для удаления поверхностных загрязнений с обрабатываемой поверхности подложки при сохранении кристаллической структуры обрабатываемой поверхности. Техническим результатом предложенного изобретения является получение возможности качественного удаления поверхностных загрязнений с поверхности подложки без изменения молекулярной кристаллической структуры или иного нарушения обрабатываемой поверхности, а также без повторного осаждения удаляемых частиц загрязнений на поверхности подложки. 2 с. и 27 з.п.ф-лы, 3 табл., 42 ил.
|