WO 9725178 A, 17.07.1997. RU 2089365 C1, 10.09.1997. RU 2208504 C2, 20.07.2003. WO 9520458 A, 03.08.1995. US 4403134 A, 06.09.1983.
Имя заявителя:
ХЬЮЛЕТТ-ПАККАРД ДИВЕЛОПМЕНТ КОМПАНИ, Л.П. (US)
Изобретатели:
ОТИС Чарльз (US) КАВАРИ Мехрган (US) ПОЛЛАРД Джеффри Р. (US) ХЬЮТ Марк К. (US)
Патентообладатели:
ХЬЮЛЕТТ-ПАККАРД ДИВЕЛОПМЕНТ КОМПАНИ, Л.П. (US)
Приоритетные данные:
14.11.2003 US 10/713,298
Реферат
Изобретение относится к способу формирования элемента на подложке путем удаления материала на поверхности подложки лазерным лучом (варианты) и устройству для его осуществления. Устройство содержит источник лазерного луча, способный формировать элемент на поверхности подложки, первую конструкцию для подачи жидкости и направления жидкости на элемент, который может содержать затененную область, доступ к которой жидкости, направляемой от первой конструкции для подачи жидкости, затруднен, и по меньшей мере вторую, другую, конструкцию для подачи жидкости и направления жидкости, в целом, по направлению к затененной области. Первая и вторая конструкции для подачи жидкости выполнены с возможностью ее доставки к элементу в течение, по меньшей мере, части времени воздействия лазерного луча на подложку. Способ предусматривает формирование элемента на подложке, по меньшей мере, частично, с помощью лазерного луча. В течение времени, по меньшей мере, части этого формирования, способ предусматривает подачу жидкости в, по меньшей мере, первую область элемента по первому пути подачи жидкости и подачу жидкости в, по меньшей мере, вторую, другую, область элемента по, по меньшей мере, второму пути подачи жидкости. В результате обеспечивается высокое качество лазерной микрообработки. 3 н. и 7 з.п. ф-лы, 14 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента