RU 2201335 С2, 27.03.2003. RU 2037944 C1, 19.06.2005. RU 2244617 C1, 20.01.2005. RU 2051464 C1, 27.12.1995. SU 1188782 A1, 30.10.1985. US 4512107 A, 23.04.1985. US 5136815, 11.08.1992.
Имя заявителя:
Индукаев Константин Васильевич (RU), Осипов Павел Альбертович (RU)
Изобретатели:
Индукаев Константин Васильевич (RU) Осипов Павел Альбертович (RU)
Патентообладатели:
Индукаев Константин Васильевич (RU) Осипов Павел Альбертович (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройствам для позиционирования. Устройство включает направляющую, установленный на ней первый элемент с приводом его линейного перемещения, второй элемент, установленный на второй направляющей, ортогональной первой. Элементы имеют возможность взаимного перемещения вдоль оси, расположенной под острым углом к оси одной из направляющих и лежащей в плоскости ортогональной оси второй направляющей. Обе направляющие выполнены аэростатическими, а первый и второй элементы размещены на каретках, которые имеют возможность перемещения по соответствующим направляющим. Элементы установлены каждый на своей каретке с возможностью поворота относительно оси перемещения каретки на один и тот же угол. Элементы разделены между собой зазорами, форма сечения которых плоскостью, перпендикулярной оси перемещения, постоянная, и предназначенными для формирования аэростатического зазора. Элементы снабжены дросселями. Устройство снабжено внешним источником сжатой текучей среды, который сообщен с дросселями элементов и направляющими. Изобретение повышает точность позиционирования объектов в нанометровом диапазоне. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента