|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ АЛМАЗНЫМ ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ |  |
Номер публикации патента: 2109631 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B28D001/04 | | Аналоги изобретения: | Запорожский В.П., Лапшинов Б.А. Обработка полупроводниковых материалов. - М.: Высшая школа, 1988, с.38-410, 47-48. |
| Имя заявителя: | Ульяновский государственный технический университет | | Изобретатели: | Худобин Л.В.
Крупенников О.Г. | | Патентообладатели: | Ульяновский государственный технический университет |
Реферат | |
Использование: в технологии изготовления подложек из полупроводниковых материалов на операциях резки слитков из этих материалов на пластины. Сущность изобретения: способ резки полупроводниковых слитков на пластины алмазным отрезным кругом с внутренней режущей кромкой включает закрепление и натяжение круга на барабане, вращение последнего вокруг своей оси, введение слитка в отверстие отрезного круга на расстояние, равное сумме заданной толщины пластины и ширины пропила, прямолинейное перемещение на режущую кромку вращающегося круга слитка с отрезанием от последнего пластины при подаче в зону резания водной смазочно-охлаждающей жидкости и отвод слитка в исходное положение. При этом перед отрезанием каждой пластины на режущую кромку отрезного круга подают масляную магнитную жидкость с одновременным наложением на нее магнитного поля. 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента