US 2003141279 А, 31.07.2003. US 5401932 А, 28.03.1995. US 4685185 А, 11.08.1987. US 2003/193550 A1, 16.10.2003. EP 07363 86 A, 09.10.1996. DE 10201699 A1, 14.08.2003. DE 10212266 C1, 17.04.2003. EP 0405640 A, 02.01.1991. US 2002/0081943 A1, 27.06.2002. US 6521067 B1, 18.02.2003. SU 1635896 A3, 15.03.1991.
Имя заявителя:
ХЬЮЛЕТТ-ПАККАРД ДИВЕЛОПМЕНТ КОМПАНИ, Л.П. (US)
Изобретатели:
БАСВЕЛЛ Шен (US)
Патентообладатели:
ХЬЮЛЕТТ-ПАККАРД ДИВЕЛОПМЕНТ КОМПАНИ, Л.П. (US)
Приоритетные данные:
26.04.2004 US 10/832,030
Реферат
Изобретение относится к способам и системам микрообработки. Сущность изобретения: в способе формирования щели для подачи чернил в полупроводниковой подложке для струйной печатающей головки формируют первый конструктивный элемент путем многократного приложения разряда электрической энергии к первой стороне полупроводниковой подложки или путем нанесения абразивного материала на первую сторону полупроводниковой подложки, сообщают вибрацию инструменту напротив первой стороны, причем инструмент вибрирует с некоторой частотой и на некотором расстоянии от первой стороны для формирования первого конструктивного элемента, удаляют материал полупроводниковой подложки со второй стороны для формирования второго конструктивного элемента, причем, по меньшей мере, часть первого и второго конструктивных элементов пересекается для формирования щели для подачи чернил, проходящей через полупроводниковую подложку, а для удаления используют способ, выбранный из группы, состоящей из влажного травления, сухого травления, лазерной обработки, сверления песком, обработки струей абразива, вращательно-вибрационного сверления, резания пилами и механической обработки на станках. Изобретение обеспечивает быстрое формирование щели для подачи чернил в полупроводниковой подложке для струйной печатающей головки при небольших затратах. 18 з.п. ф-лы, 14 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента