US 2006290443 A1, 28.12.2006. US 2003006858 A1, 09.01.2003. WO 2007022500 A2, 22.02.2007. US 6875936 B1, 05.04.2005.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" (RU)
Изобретатели:
Козырев Андрей Борисович (RU) Лучинин Виктор Викторович (RU) Солдатенков Олег Иванович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к радиотехнике сверхвысокой частоты (СВЧ) и может быть использовано в радиосистемах, например в перестраиваемых радиолокационных системах. Микроэлектромеханический (МЭМ) ключ включает в себя подложку 1, выполненную из диэлектрического или полупроводникового материала, на которой расположены управляющий электрод 2, высокочастотный электрод 3 и один из концов подвижного электрода 4, подвижная часть которого расположена параллельно поверхности управляющего электрода 2 с зазором между ними. Также МЭМ-ключ включает в себя упругую пластину 5, расположенную между подвижным электродом 4 и подложкой 1 и закрепленную одним концом на подложке 1. Форма и размеры упругой пластины 5 оставляют открытой поверхность управляющего 2 и СВЧ 3 электродов, а под свободным концом упругой пластины 5 выполнено в подложке 1 углубление 6 для перемещения упругой пластины 5. В упругой пластине 5 выполнены вырезы, размеры которых превышают соответственно размеры управляющего 2 и высокочастотного 3 электродов. Длина подвижной части упругой пластины 5 меньше длины полости до управляющего электрода 2. Техническими результатами являются снижение управляющего электрического напряжения и повышение быстродействия МЭМ-ключа. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента