Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" (RU)
Изобретатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Белозубова Нина Евгеньевна (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" (RU)
Реферат
Датчик давления с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (НиМЭМС) предназначен для использования при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (НиМЭМС) содержит корпус, установленную в нем НиМЭМС, состоящую из круглой мембраны, выполненной за одно целое с периферийным основанием, сформированную на ней гетерогенную структуру из тонких пленок материалов, в которой образованы тензорезисторы, выполненные в виде соединенных тонкопленочными перемычками одинакового количества одинаковых квадратных тензоэлементов. Тензоэлементы первой пары тензорезисторов, выполнены симметричными между собой относительно взаимно перпендикулярных осей мембраны, проходящих через центры тензорезисторов, и симметричными соответствующим тензоэлементам второй пары тензорезисторов, относительно взаимно перпендикулярных осей мембраны, проходящих через центры контактных площадок, размещенных симметрично относительно взаимно перпендикулярных осей мембраны, проходящих через центры тензорезисторов. Расстояния между тензоэлементами первой пары тензорезисторов равны между собой и равны расстояниям между тензоэлементами второй пары тензорезисторов. Центры всех тензоэлементов размещены по окружности, радиус которой r о определен по соответствующему соотношению. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности измерения датчиков давления тензорезистивного типа, а также повышение долговременной стабильности и уменьшение нелинейности градуировочной характеристики. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента