|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ АЛМАЗОПОДОБНОГО МАТЕРИАЛА И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2099283 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C01B031/06 C23C016/26 | | Аналоги изобретения: | 1. US, патент, 4935303, кл. B 32 B 9/00, 1990. 2. US, патент, 5427827, кл. B 05 D 3/06, 1995. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Техно-ТМ" | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Техно-ТМ" |
Реферат | |
Использование: получение материалов для микро- и оптоэлектроники. Сущность изобретения: в СВЧ-установку с ЭЦР-разрядом помещают подложку, откачивают до 2·10-3 Па, подают дихлорметан или другой галогенсодержащий углеводород. Зажигают СВЧ-разряд. Перемещают подложку из зоны ЭЦР. Покрытие на основе алмазоподобного материала с аморфной структурой характеризуется следующими показателями: пики в спектре комбинационного рассеяния 1317 см-1 и 1570 см-1 с соотношением интенсивностей, соответствующим наличию не менее 45% SP3 - гибридизированного углерода, характерного для алмазной фазы, плотность не менее 2900 кг/м3, отсутствие пропускания в видимой области спектра и прозрачность в диапазоне длин волн 2-25 мкм. 2 с. и 1 з.п.ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента