|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КАРБИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2071938 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C01B031/36 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 62-36100, кл. С 3О В 29/62, 1987. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Радиевый институт им.В.Г.Хлопина" | | Изобретатели: | Карелин В.А.
Карелин А.И.
Шпунт Л.Б.
Волк В.И. | | Патентообладатели: | Научно-производственное объединение "Радиевый институт им.В.Г.Хлопина" |
Реферат | |
Использование: получение полупроводниковых материалов. Сущность изобретения: 0,242 кг осушенного аммиака подают в реактор на обработку 1 кг тетрафторида кремния при 1500oC. 1 кг Полученного нитрида кремния обрабатывают 0,28 кг графита при 1800oC. Содержание примесей в карбиде кремния не превышает 10-6-10-7 мас.%.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента