SU 1135713 A1, 23.01.1985. SU 239275 A1, 01.01.1969. RU 2026814 C1, 20.01.1995. RU 2060935 C1, 27.05.1996. RU 2117066 C1, 10.08.1998. RU 2307020 C1, 27.09.2007. WO 91/01270 A1, 07.02.1991. JP 04-149016 A, 22.05.1992. CN 101130237 A, 27.02.2008.
Имя заявителя:
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКТИВОВ И ОСОБО ЧИСТЫХ ХИМИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ "ФГУП ИРЕА" (RU)
Изобретатели:
Гринберг Евгений Ефимович (RU) Баранов Константин Викторович (RU)
Патентообладатели:
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКТИВОВ И ОСОБО ЧИСТЫХ ХИМИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ "ФГУП ИРЕА" (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано при производстве полупроводников и в микроэлектронике. Шлифовальный порошок, содержащий карбид кремния, оксид кремния, кремний и металлические примеси, обрабатывают органическими растворителями и/или осушают. Затем обрабатывают бромоформом и/или дибромметаном в герметических условиях при давлении не выше 0,2 атм при механическом перемешивании. Выделенный карбид кремния в виде тяжелой фракции содержит 95-98% основного продукта, а исходный обрабатываемый порошок 3-55 мас.% карбида кремния. 2 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента