|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ |  |
Номер публикации патента: 2279403 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/04 | | Аналоги изобретения: | RU 2129984 C1, 10.05.1999. RU 2214362 С1, 20.10.2003. RU 2002119212 А, 20.02.2004. JP 2169592 А, 29.06.1990. JP 1261216 А, 18.10.1989. US 2530367 А, 21.10.1950. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ФГУП ГНИИХТЭОС) (RU) | | Изобретатели: | Белов Евгений Петрович (RU)
Горшков Александр Сергеевич (RU)
Ефимов Николай Константинович (RU)
Лебедев Евгений Николаевич (RU)
Монин Евгений Алексеевич (RU)
Стороженко Павел Аркадьевич (RU)
Темош Иван Иванович (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ФГУП ГНИИХТЭОС) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу получения моносилана высокой степени чистоты, пригодного для формирования тонкопленочных полупроводниковых изделий, а также поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты различного назначения (полупроводниковая техника, солнечная энергетика). Способ осуществляется следующим образом.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента