Изобретение может быть использовано при изготовлении оптического волокна, полупроводников, солнечных элементов. Исходное сырье, содержащее диоксид кремния, реагирует с раствором фтористоводородной и кремнефтористоводородной кислоты с получением водного раствора фторкремниевой кислоты (H2Si2F10) в реакционной емкости 3. Водный раствор фторкремниевой кислоты вводят в реакцию с серной кислотой до получения тетрафторида кремния в насадочной колонне 19. Фракцию серной кислоты, содержащую побочный продукт на стадии получения тетрафторида кремния - фтористый водород, подвергают отпарке до получения серной кислоты в отпарной колонне 28. Полученную серную кислоту концентрируют в испарителе 32 и возвращают на стадию получения тетрафторида кремния для повторного использования. Изобретение позволяет снизить затраты и отходы при производстве тетрафторида кремния, 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента