Общество с ограниченной ответственностью "Энергия" (RU)
Изобретатели:
Карабанов Сергей Михайлович (RU) Джхунян Валерий Леонидович (RU) Ясевич Виктор Игоревич (RU) Масахиро Хосино (JP)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Энергия" (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу очистки кремния с помощью плазменной технологии при промышленном производстве кремния для фотоэлектронной промышленности, и в том числе для изготовления солнечных батарей. Способ включает разогрев в тигле неочищенного кремния до получения расплава и обработку расплава плазменным факелом, содержащим инертный газ и пары воды. Причем разогрев и плавление неочищенного кремния производят в вакууме с помощью графитового нагревателя. Кремний помещают в кварцевый тигель прямоугольной формы. Расплав кремния обрабатывают струей плазмы увлажненного аргона, направленной под острым углом к поверхности расплава. Контроль температуры дна тигля осуществляют с помощью оптического пирометра. Степень очистки контролируют путем взятия проб, с помощью специального щупа. Слиток поликристаллического кремния формируют путем медленного охлаждения расплава в кварцевом тигле. Обеспечивается получение из металлургического кремния чистотой 98-99.9% слитка поликристаллического кремния степени чистоты 99.9999%, при содержании фосфора не более 0.1 ppmw, бора от 0.1 до 1 ppmw, пригодного для изготовления фотопреобразователей промышленным способом. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента