ЗЕЛИКМАН А.Н. Металлургия тугоплавких редких металлов. - М.: Металлургия. 1986, с.430-433. RU 2087570 С1, 20.08.1997. SU 1789570 A1, 23.01.1993. EP1711289 A1, 18.10.2006. WO 2004029332 A2, 08.04.2004. US 2004055733 A1, 25.03.2004. US 4793854 A, 27.12.1988.
Имя заявителя:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Изобретатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU) Сидоров Николай Сергеевич (RU) Штинов Евгений Дмитриевич (RU)
Патентообладатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к области металлургии цветных металлов и может быть использовано при производстве распыляемых магнетронных мишеней в технологии производства кремниевых интегральных схем в микроэлектронике. Исходный материал в виде прутка металлического титана, полученного йодидным методом, помещают в лодочку реактора, выполненного из огнеупорного материала, разогревают до температуры 750-800°С, пропускают через реактор над исходным материалом поток смеси аргона с бромом. Смесь получают пропусканием аргона через термостатированную при 20°С ампулу с жидким бромом. Пропускание смеси аргона с бромом ведут до максимальной очистки прутка от примесей через летучие бромиды. Очищенный пруток титана подвергают электронной вакуумной зонной перекристаллизации до получения поликристалла титана высокой чистоты. Необходимое по массе количество материала в виде поликристаллов титана переплавляют в охлаждаемом плоском кристаллизаторе до получения литой структуры высокого качества путем проплавления плоского слитка с каждой его стороны на всю глубину. Техническим результатом является повышение чистоты титана, используемого для тонкопленочной металлизации, поскольку чистота титана в значительной мере определяет электрофизические параметры наносимых тонких слоев. 1 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента