На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ МАШИН И ИНСТРУМЕНТОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2078847 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C23C008/36 | Аналоги изобретения: | Итоги науки и техники. Физические основы лазерной и пучковой технологии. Том.5.- М.: ВИНИТИ, 1989, с.83 и 84. |
Имя заявителя: | Плешивцев Николай Васильевич | Изобретатели: | Плешивцев Николай Васильевич | Патентообладатели: | Плешивцев Николай Васильевич |
Реферат | |
Изобретение относится к способам и устройствам для ионной обработки деталей машин и инструментов пучками ионов. Сущность изобретения: поверхность изделия подвергают ионной очистке интенсивным пучком ионов аргона, получаемым из плазмы газового разряда с высокой концентрацией ионов (1010-1013см-3) в газоразрядной камере при давлении аргона 0,7-4,7 Па, а на поверхности обрабатываемой детали давление рабочего газа ррг и парциальное давление загрязняющих поверхность газов Pзг поддерживают из условий: ррг= 10-2-10-3 Па, pзг< (2,2·10-2·j+·Sпл·Mзг 1/2/f , где J+ - плотность тока ионов аргона, А/см2, Sпл - коэффициент распыления загрязняющей пленки, ат/ион, Mзг - молекулярная масса загрязняющего газа, T - температура этого газа, K, f - коэффициент прилипания молекул или атомов загрязняющего газа к поверхности детали. После очистки на рабочую поверхность наносят защитный слой и проводят имплантацию ионов азота до образования нитрида металла на поверхность детали. Устройство содержит цилиндрическую газоразрядную камеру (ГК) и расположенные в ней по окружности и по высоте наружной стенки катоды прямого накала, ионно-оптическую систему в виде установленных в ГК трех коаксиальных электродов со щелями для фокусировки и ускорения в радиальных плоскостях, направленных к оси устройства пучков аргона или азота или смешанных пучков, испаритель, анод в виде двух колец, систему электрического питания и систему вакуумной откачки. Внешний электрод является внутренней стенкой ГК. Анод и испаритель размещения в ГК. Устройство может иметь расположенные на наружной поверхности ГК постоянные магниты. Катоды прямого накала выполнены из вольфрама или его сплавов, или гексаборида лантана в виде проволочек или бифилярной намотки. 2 с. и 7 з.п. ф-лы, 2 табл., 7 ил.
|