|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИОННО - ЛУЧЕВОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 1802551 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/56 | | Аналоги изобретения: | Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982, с.7-10, 44-46. |
| Имя заявителя: | Харьковский государственный университет им.А.М.Горького | | Изобретатели: | Бизюков А.А.
Середа Н.Д.
Целуйко А.Ф.
Юнаков Н.Н. | | Патентообладатели: | Бизюков Александр Анатольевич
Целуйко Александр Федорович
Юнаков Николай Николаевич
Середа Николай Дмитрие |
Реферат | |
Использование: нанесение тонких покрытий в вакуумно-плазменной микроэлектронике. Сущность изобретения: улучшение качества покрытий за счет исключения влияния бомбардировки поверхности осаждаемого покрытия вторичными электронами, эмитируемыми из мишени при ионно-лучевом распылении. Перед распылением мишени между мишенью и подложкой формируют стационарное магнитное поле, параллельное поверхности мишени, величину которого выбирают из определенного соотношения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента