|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКЕ |  |
Номер публикации патента: 2020190 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/50 H01L021/00 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 390200, кл. C 23C 14/50, 1971. |
| Имя заявителя: | Ивашов Евгений Николаевич,Кожевников Алексей Иванович,Оринчев Сергей Михайлович,Степанчиков Сергей Валентинович | | Изобретатели: | Ивашов Евгений Николаевич
Кожевников Алексей Иванович
Оринчев Сергей Михайлович
Степанчиков Сергей Валентинович | | Патентообладатели: | Ивашов Евгений Николаевич
Кожевников Алексей Иванович
Оринчев Сергей Михайлович
Степанчиков Сергей Валентинович |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть применено для транспортировки подложки в вакуумной установке. Сущность изобретения: прижим-фиксатор выполнен в виде подвижной планки с пружиной сжатия, один торец которой связан с подвижной планкой, а другой - с направляющей планкой, в которой выполнено резьбовое отверстие и установлен винт, связанный с корпусом с возможностью только вращательного движения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента