|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ОКСИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2030483 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/32 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4599678, кл.361-323, 1986. |
| Имя заявителя: | Дзе Бок Груп, Инк. (US) | | Изобретатели: | Юджин С.Лопата[US]
Джон Т.Фелтс[US] | | Патентообладатели: | Дзе Бок Груп, Инк. (US) | | Номер конвенционной заявки: | 073792 | | Страна приоритета: | US |
Реферат | |
Изобретение относится к нанесению пленок из летучих кремнийорганических соединений и может найти применение в электронной промышленности. Сущность: расширение технологических возможностей осуществляется за счет того, что газовый поток, содержащий кремнийорганическое соединение, подают в плазму и за счет реакции в плазме разряда осуществляется нанесение оксида кремния на подложку при давлении менее 100 мкм. Кремнийорганическое соединение предпочтительно соединяется с кислородом и гелием, причем часть плазмы удерживается вблизи подложки с помощью некомпенсированной магнетронной системой. Пленки, полученные данным способом, можно воспроизводимо наносить на небольшие подложки и подложки больших размеров, таких, как стекло, пластик, минералы или металлы с заранее заданными свойствами. 8 з.п. ф-лы, 7 ил., 5 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента