|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ МЕТОДОМ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2037559 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/00 C23C014/32 | | Аналоги изобретения: | Electronic components N 3, 1970, с.286-287. |
| Имя заявителя: | Волин Эрнст Михайлович | | Изобретатели: | Волин Э.М. | | Патентообладатели: | Волин Эрнст Михайлович |
Реферат | |
Использование: в области нанесения покрытий на изделия, при ионно-плазменной обработке. Сущность изобретения: в технологической вакуумной камере создают газовую плазму путем генерации электронов из металлогазовой плазмы двухступенчатого вакуумно-дугового разряда с холодным катодом, бомбардируют распыляемую поверхность мишени заряженными частицами плазмы путем подачи высоковольтного отрицательного потенциала на мишень и осаждают ионы металла мишени на изделие.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента