|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2049152 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/46 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 834800, кл. H 01J 37/30, 1981. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Оптика" | | Изобретатели: | Душкин В.А.
Марковец Ю.В.
Михайлова Л.Н.
Кузьмин А.А.
Сорокин В.А. | | Патентообладатели: | Научно-производственное объединение "Оптика" |
Реферат | |
Использование: в ионно-лучевом нанесении материалов, в оптической, электронной и др. отраслях промышленности при получении покрытий из дорогостоящих либо токсичных материалов. Сущность изобретения: в устройстве используется ионный источник, пучок которого распыляет мишень, выполненную в форме собирающего рефлектора, а держатель подложек установлен относительно источника и мишени так, чтобы обеспечить фокусировку максимума индикетрисы потока распыляемого материала мишени на обрабатываемой поверхно
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента