|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2051200 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/26 C23C014/24 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 201484, кл. C 23C 14/26, 1967. |
| Имя заявителя: | Белов Владимир Григорьевич,Иванов Владимир Анатольевич,Иванов Валерий Анатольевич,Нагоев Теморлан Хусейнович | | Изобретатели: | Белов Владимир Григорьевич
Иванов Владимир Анатольевич
Иванов Валерий Анатольевич
Нагоев Теморлан Хусейнович | | Патентообладатели: | Белов Владимир Григорьевич
Иванов Владимир Анатольевич
Иванов Валерий Анатольевич
Нагоев Теморлан Хусейнович |
Реферат | |
Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы. Устройство для нанесения полимерных пленок содержит размещенные в вакуумной камере подложку и испаритель, снабженный нагревателем, и состоящий из двух камер, расположенных коаксиально и соосно испарителю, в одну из камер загружается испаряемое вещество, а другая выполнена цилиндрической и расположена в центральной части испарителя, в днище испарителя расположе
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента