|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО МАГНЕТРОННОГО РЕАКТИВНОГО РАСПЫЛЕНИЯ НИТРИДНЫХ, КАРБИДНЫХ И КАРБОНИТРИДНЫХ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2065507 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/36 | | Аналоги изобретения: | Патент Франции № 2568209, кл. С 23 С 14/34, 1986. Патент США № 4849087, кл. С 23 С 14/34, 1989. |
| Имя заявителя: | Тулеушев Адил Жианшахович[KZ] | | Изобретатели: | Тулеушев Адил Жианшахович[KZ]
Мухамедшин Ирек Шамильевич[KZ]
Ким Светлана Николаевна[KZ] | | Патентообладатели: | Тулеушев Адил Жианшахович[KZ]
Мухамедшин Ирек Шамильевич[KZ]
Ким Светлана Николаевна[K |
Реферат | |
Устройство магнетронного реактивного распыления нитридных карбидных и карбонитридных покрытий содержит катод, мишень, закрепленную на катоде посредством держателя мишени, магнитную систему и полый анод, соединенный с системой подачи газа. На удаленном от мишени торце анода выполнено кольцевое сопло для запуска рабочей газовой смеси с направляющими, параллельными боковой образующей анода, между анодом и поверхностью держателя мишени расположена изолирующая цилиндрическая втулка, магнитная система расположена с нерабочей стороны мишени, анод выполнен цилиндрическим и ближний его край со стороны изолирующей втулки выполнен с цилиндрической проточкой, а полость анода соединена с кольцевым соплом посредством винтовых ходов. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента