|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИМПУЛЬСНЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИСПАРИТЕЛЬ С СЕПАРАЦИЕЙ ИОНОВ |  |
Номер публикации патента: 2070611 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/46 | | Аналоги изобретения: | 1. Битюрин Ю.А. и др. Вакуумное лазерное напыление и эпитаксия.- Электронная промышленность, 1981, N 5 и 6, с. 110 - 115. 2. Васецкий Б.Г. и др. Установка для содержания пленок в вакууме методом лазерного испарения.- Электронная промышленность, 1983, N 4, с. 64 - 66. |
| Имя заявителя: | Научно-экспертное общество "Эльтрон" | | Изобретатели: | Ковалев Л.К. | | Патентообладатели: | Научно-экспертное общество "Эльтрон" |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологическим устройствам для осаждения многослойных тонкопленочных структур испарением исходных материалов в вакууме. Для создания энергетически монохроматичного пучка ионов, испаряемого материала, имеющих одинаковую массу, заряд и энергию, в импульсном лазерном испарителе, содержащем импульсный лазер, объектив, систему сканирования лазерным лучом, механизм смены мишеней новым является то, что зона дрейфа и спаренных частиц расположена
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента