|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2073743 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/00 C23C014/32 | | Аналоги изобретения: | Слуцкая В.В. Тонкие плёнки в техники сверхвысоких частот.- М.: Сов. радио, 1967, с.24, 201 и 202. 2. Авторское свидетельство СССР N 1110212, кл. С 23 С 14/00,1980. |
| Имя заявителя: | Гаврилов А.Г. | | Изобретатели: | Гаврилов А.Г.
Синельщиков А.К.
Галицкая Г.К.
Недомящая С.А. | | Патентообладатели: | Акционерное общество закрытого типа "Центр техники покрытий и металлообработки" |
Реферат | |
Использование: в области нанесения покрытий в вакууме, в частности при нанесении покрытий на изделия из диэлектрических материалов. Сущность изобретения: способ нанесения покрытий в вакуумной камере, при котором изделия размещают на металлическом приспособлении, перед нанесением покрытия поверхность изделия нагревают и активируют в течение 0,2 - 15 мин потоком нейтральных частиц азота с энергией 0,5 - 6 кэВ, при этом давлении в камере - 10-2-10-3 мм рт. ст., затем на приспособление подают переменный электрический потенциал 30 - 300 В, испаряют электрической дугой катод, и при давлении 10-2 - 5,10-4 мм рт. ст. формируют покрытие в течение 0,1 - 10 мин со скоростью роста слоя  . Предусмотрены предварительный подогрев изделий вне камеры и возможность формирования потока металлической плазмы неравномерной плотности. Устройство для осуществления способа содержит вакуумную камеру с размещенными в ней одним или несколькими испарителями с расходуемыми катодами, металлическое приспособление для размещения изделий, подключенное к незаземленной вторичной обмотке низковольтного трансформатора, и ускоритель нейтральных частиц азота, смонтированный на внутренней стенке камеры. 2 с. и 2 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента