|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ПОДЛОЖЕК ПОЛУСФЕРИЧЕСКОЙ ФОРМЫ |  |
Номер публикации патента: 2087587 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/50 | | Аналоги изобретения: | Патент ФРГ N 4008405, кл. C 23 C 16/50, 1991. |
| Имя заявителя: | Шотт Глазверке (DE) | | Изобретатели: | Хайнц-Вернер Этцкорн[DE]
Харальд Крюммель[DE]
Гюнтер Вайдманн[DE]
Фолкер паквет[DE] | | Патентообладатели: | Шотт Глазверке (DE) | | Номер конвенционной заявки: | P 4120176.0 | | Страна приоритета: | DE |
Реферат | |
Сущность изобретения заключается в том, что для нанесения покрытия на несколько полусфер одновременно недорогим способом с одинаково высоким качеством несколько камер для нанесения покрытия объединены в станцию покрытия полусфер, которая с помощью симметричной системы газопроводов соединена с общим газогенератором и с общим вакуумным насосом. Газопроводы имеют площади поперечного сечения и форму поперечного сечения, которая в зависимости от расстояния "х" от газогенератора или от вакуумного насоса одинакова. Благодаря этому во всех камерах для нанесения покрытий обеспечиваются одинаковые условия потока. Системы газопроводов могут быть образованы из прецизионных трубок или с помощью штабеля монолитных плит, в которых выполнены сверлением или фрезерованием каналы для газа. Несколько станций в свою очередь могут быть объединены в блок, имеющий симметричную систему трубопроводов для газа, соединенную с общим вакуумным насосом и общим газогенератором. 23 з.п. ф-лы, 25 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента