|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ |  |
Номер публикации патента: 2089658 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка ФРГ N 3619194, кл. C 23 C 14/34, 1987. 2. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. - М.: Энергоатомиздат, 1989, с. 71 - 74. |
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | | Изобретатели: | Ивашов Е.Н.
Кондрашов П.Е.
Оринчев С.М.
Слепцов В.В.
Степанчиков С.В. | | Патентообладатели: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Реферат | |
Задача повышения равномерности магнитного поля решается тем, что магнитная система выполнена в виде электромагнитов с замкнутым магнитным полем, каждый электромагнит содержит катушку индуктивности и сердечник, один конец которого связан с общим ярмом, а другой - с общим наконечником, число электромагнитов не менее трех и каждый из них имеет автономную систему питания. Устройство используется для нанесения тонких пленок в вакууме. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента