|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СИСТЕМА ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2089662 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/50 | | Аналоги изобретения: | 1. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. - М.: Радио и связь, 1986, с. 194. 2. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. - М.: Радио и связь, 1986, с. 195. |
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | | Изобретатели: | Вологиров А.Г.
Ивашов Е.Н.
Оринчев С.М.
Слепцов В.В.
Степанчиков С.В. | | Патентообладатели: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Реферат | |
Сущность изобретения является система охлаждения подложек в вакууме, содержащая подложкодержатель, механические прижимы и теплопроводящее вещество. В объеме теплопроводящего вещества размещена рубашка охлаждения. Охлаждение осуществляется путем подачи охлаждающего вещества от рубашки на подложку посредством теплопроводящего вещества. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента