На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

МНОГОПУЧКОВАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИОННО - ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛЕЙ

Номер публикации патента: 2095467

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95122531		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к установкам для комплексной обработки поверхностей деталей. Цель изобретения - обеспечение заранее заданных характеристик поверхностей деталей, повышение производительности и качества путем увеличения количества технологических операций, выполняемых одновременно или последовательно в одной и той же рабочей камере без изменения или с требуемым изменением в ней состава рабочей атмосферы при обработке деталей различных типоразмеров и конфигураций. Многопучковая установка для комплексной ионноплазменной обработки поверхности деталей выполнена в виде рабочей камеры с расположенными на ней источниками направленных потоков энергии, имеющих систему питания, систему вакуумирования камеры, а также транспортирующее средство. Установка снабжена системой газового питания для обеспечения требуемого состава газа в зоне обработки детали в рабочей камере, системой диагностики для контроля качества поверхности, источники направленных потоков энергии выполнены в виде отдельных разнотипных пучковых модулей, установленных на фланцах рабочей камеры. Отдельные модули могут быть выбраны из группы: имплантер, магнетрон, плазменно-коаксиальный ускоритель, газовый имплантер. Каждый модуль соединен со своим пультом управления. Обработка поверхности детали разнотипными пучковыми модулями производится одновременно или последовательно в зависимости от технологического процесса. 1 ил.

Вернуться к списку