|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЯ |  |
Номер публикации патента: 2115764 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/50 | | Аналоги изобретения: | Моряков О.С. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники, т.7, Элионная обработка. - М.: Высшая школа, 1990, с.50. Минайчев В.Н. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники, т.6, Нанесение пленок в вакууме. - М.: Высшая школа, 1989, с.89. RU, 2020190, С1, 30.09.94. DE, 4036339, А1, 21.05.92. DE, 4029905, А1, 26.03.92. EP, 0254145, А1, 27.01.88. |
| Имя заявителя: | Василенко Николай Васильевич | | Изобретатели: | Василенко Николай Васильевич
Ивашов Евгений Николаевич
Прусаков Евгений Викторович
Степанчиков Сергей Валентинович | | Патентообладатели: | Василенко Николай Васильевич |
Реферат | |
Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки. Цель достигается тем, что подложкодержатель установлен на упругом элементе - сильфоне, жестко связанном с неподвижным основанием с возможностью вращения относительно горизонтальных осей координат, между подложкодержателем и неподвижным основанием шарнирно закреплены в вертикальном направлении две тяги-привода, устройство также снабжено вторым подложкодержателем, установленным на первом с возможностью осевого вращения, который связан с вводом вращательного движения посредством дополнительного упругого сильфона, герметично связанного с вводом вращения и вторым подложкодержателем. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента