|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2155242 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/46 | | Аналоги изобретения: | RU 2095467 С1, 10.11.1997. US 5296122 А, 22.03.1994. US 5427671 А, 27.06.1995. EP 0167383 А2, 08.01.1986. FR 2575186 А1, 27.06.1986. |
| Имя заявителя: | Институт проблем машиноведения РАН | | Изобретатели: | Кузнецов В.Г.
Булатов В.П.
Рыбников С.И. | | Патентообладатели: | Институт проблем машиноведения РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к нанесению однослойных и многослойных покрытий различного функционального значения на детали большого диапазона размеров. Устройство содержит вакуумную камеру, откачную систему, узел крепления деталей, плазменные источники материала покрытий, источник газовых ионов, систему подачи газов, источники питания и блок управления, при этом источники материала покрытий расположены на вакуумной камере в несколько ярусов с одинаковым их количеством в каждом ярусе и с возможностью вза
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента