

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ

Номер публикации патента: 2187168

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2000131832/06

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	H01J027/02 C23C014/46 H05H001/34
Аналоги изобретения:	SU 1589901 A2, 20.12.1998. SU 1213904 A1, 27.04.1998. RU 2065891 27.08.1996. EP 0253361 A1, 20.01.1988. US 4994164 A, 19.02.1991. EP 0166349 A1, 02.01.1986.

Имя заявителя:	Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Изобретатели:	Орликов Л.Н. Орликов Н.Л. Шандаров С.М.
Патентообладатели:	Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Реферат

Изобретение относится к устройствам электронно-ионной технологии, в частности к газоразрядным устройствам для ионной очистки и травления материалов, и может найти применение при изготовлении элементной базы микроэлектроники из многокомпонентных материалов. Технологический результат - повышение производительности обработки.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"