На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ В ОТВЕРСТИЯХ | |
Номер публикации патента: 2211258 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/30 | Аналоги изобретения: | SU 213517, 19.11.1974. RU 2042739 С1, 27.08.1995. SU 1487486 А1, 04.06.1986. SU 445999, 09.04.1975. SU 718497, 28.02.1980. US 4733047, 22.03.1988. JP 60-33596, 03.08.1985. |
Имя заявителя: | Государственное унитарное предприятие комбинат "Электрохимприбор" | Изобретатели: | Анкудинов С.Н. Дмитриев А.Л. Черепанов Л.Н. | Патентообладатели: | Государственное унитарное предприятие комбинат "Электрохимприбор" |
Реферат | |
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, а точнее к нанесению покрытий способом электронно-лучевого нагрева испаряемого материала с одновременным его осаждением на внутренних поверхностях деталей сложной формы. Электронный пучок направляют перпендикулярно к поверхности массивного испарителя, расположенного горизонтально, непосредственно через покрываемые отверстия.
|