|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ГЕТТЕРНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ОЧИСТКИ ГАЗОВОЙ РАБОЧЕЙ АТМОСФЕРЫ В ПРОЦЕССАХ ФИЗИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ |  |
Номер публикации патента: 2211882 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/56 F04B037/02 | | Аналоги изобретения: | WO 9613620 А1, 09.05.1996. ЕР 0693626 А1, 24.01.1996. WO 9617171 А2, 06.06.1996. WO 9717542 А1, 15.05.1997. US 4515528 А, 07.05.1985. RU 2082249 С1, 20.06.1997. RU 2082250 С1, 20.06.1997. RU 2082251 С1, 20.06.1997. |
| Имя заявителя: | САЕС ГЕТТЕРС С.П.А. (IT) | | Изобретатели: | КОНТЕ Андреа (IT)
МАЦЦА Франческо (IT) | | Патентообладатели: | САЕС ГЕТТЕРС С.П.А. (IT) |
Реферат | |
Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы. Сущность: система образована из одного или более геттерных устройств в виде спеченных тел из порошков геттерного материала или слоев геттерного материала, осажденных на металлическую подложку, которая должна быть размещена в рабочей зоне технологических камер для осаждения тонких слоев металлических или керамических материалов из паров или плазм для очистки газовой ат
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента