|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИОННО - ЛУЧЕВАЯ УСТАНОВКА ВЫРАВНИВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ОКСИДНЫХ МАТЕРИАЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2217526 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/46 C23C014/08 | | Аналоги изобретения: | СТОГНИЙ А.И., НОВИЦКИЙ Н.Н. Ионно-лучевая установка выравнивания поверхности оксидных материалов, Приборы и техника эксперимента, 2002, №1, с.153-157. RU 2052540 C1, 20.01.1996. RU 2070611 C1, 20.12.1996. RU 1069451 A3, 30.06.1994. SU 1566785 А1, 04.07.1988. US 2002040848, 11.04.2002. |
| Имя заявителя: | Алтайский государственный технический университет им. И.И.Ползунова | | Изобретатели: | Доронин В.Т. | | Патентообладатели: | Алтайский государственный технический университет им. И.И.Ползунова |
Реферат | |
Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для выравнивания поверхности оксидных материалов. Установка содержит вакуумную камеру, в которой размещены источник ионов, компенсатор объемного заряда, мишень из оксидного материала, одинакового с материалом подложки, нагреватель. Подложка и мишень установлены противоположно источнику ионов и обращены одна к другой.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента