|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА |  |
Номер публикации патента: 2220226 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | ДАЛИНИН Б.С. и др. Магнетронные распылительные системы. - М.: Радио, 1982, с. 11, 58. RU 2023745 C1, 30.11.1994. RU 2032766 C1, 10.04.1995. US 5559519, 17.09.1996. US 5458759, 17.10.1995. US 5374343, 20.12.1994. FR 2707670, 13.02.1996. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | | Изобретатели: | Жуков В.В.
Кривобоков В.П.
Янин С.Н. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете |
Реферат | |
Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для нанесения пленок из металлов и их соединений в различных отраслях машиностроения. Магнетронная распылительная система содержит мишень, магнитный блок и полый анод, соединенный с системой подачи газа. Анод выполнен в виде замкнутого контура, имеющего по всей своей длине инжекционные отверстия, направленные в центр зоны магнетронного разряда.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента