|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МОЗАИЧНАЯ МИШЕНЬ ДЛЯ ИОННО - ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2261496 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J023/00 C23C014/06 C23C014/34 | | Аналоги изобретения: | RU 2210620 C1, 20.08.2003. SU 1816288 A3, 15.05.1993. JP 60089572 А1,20.05.1985. US 4966676 А, 30.10.1990. |
| Имя заявителя: | Марийский государственный технический университет (RU) | | Изобретатели: | Филимонов В.Е. (RU)
Игумнов В.Н. (RU) | | Патентообладатели: | Марийский государственный технический университет (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области технологии получения тонких пленок и может быть использовано при нанесении многокомпонентных пленочных покрытий для электронной, атомной и других областей науки и техники. Мозаичная мишень состоит из стальной матрицы с охлаждаемым основанием, в углублениях которой размещены элементы для распыления.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента