|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 908113 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | SU | | Рег. номер заявки: | 2798147 |
|
|
|
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/36 | | Аналоги изобретения: | Обзор по электронной технике. Блинов И.Г. и др. "Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлетроники", вып. 8(269), 1974, с. 44-48, М., ЦНИИ "Электроника". |
| Имя заявителя: | Институт электроники АН БССР | | Изобретатели: | Кривонощенко В.И.
Селифанов О.В.
Точицкий Э. |
Реферат | |
Способ получения покрытия в вакууме, заключающийся в возбуждении дугового разряда в парах материала расходуемого электрода и конденсации пароплазменного потока этого материала на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет снижения капельной фазы пароплазменного потока, на расходуемый электрод воздействуют ультразвуковыми колебаниями.
|
Поиск патентов