|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПАРОВОГО ОСАЖДЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2188252 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/16 | | Аналоги изобретения: | WO 9425638 А, 10.11.1994. RU 2072180 C1, 20.01.1997. RU 1513949 A1, 10.03.1995. RU 1811217 А, 20.08.1996. |
| Имя заявителя: | ИНКО ЛИМИТЕД (CA) | | Изобретатели: | ВЕБЕР Рейнхарт (CA)
ЭЛБЕРТИ Майкл Раян (CA)
ТИРОЛЕР Джордж Пол (CA)
ПАССМОР Иан Кейт (CA) | | Патентообладатели: | ИНКО ЛИМИТЕД (CA) |
Реферат | |
Изобретение относится к химическому паровому осаждению, в частности к устройству для осаждения газообразных карбонилов металлов на подложку, и может найти применение в различных отраслях машиностроения и металлургии. Опорная плита (12) и крышка (14) устройства (10) образуют реакционную камеру (20). Кольцо (28) оправки (36) размещено в опорной плите (12), изолировано от нее и поддерживает оправку (36).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента