|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СОЗДАНИЯ ПЛЕНКИ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА НА ПОДЛОЖКЕ И ИЗДЕЛИЕ С ТАКОЙ ПЛЕНКОЙ НА ПОДЛОЖКЕ |  |
Номер публикации патента: 2205894 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/26 | | Аналоги изобретения: | RU 94034306 A1, 10.07.1996. ЕР 0605814 A1, 13.07.1994. ЕР 0411435 A1, 06.02.1991. US 4842945, 27.06.1989. |
| Имя заявителя: | НОРТИСТЕРН ЮНИВЕРСИТИ (US) | | Изобретатели: | ХОПВУД Джеффри А. (US)
ПЭППАС Дэвид Л. (US) | | Патентообладатели: | НОРТИСТЕРН ЮНИВЕРСИТИ (US) |
Реферат | |
Изобретения могут быть использованы при получении высококачественных пленок алмазоподобного углерода на частично ограниченных поверхностях или поверхностях с высокой степенью угловатости путем химического осаждения из паровой фазы. В среде газообразного углеводорода генерируют плазму и осуществляют воздействие на подложку.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента